環(huán)境干擾會影響電子束設(shè)備運作而導(dǎo)致檢測結(jié)果精準(zhǔn)度下降，若是置之不理甚至可能影響到整體制程、讓成本大幅上升。因此，不論是實驗室要安裝電子束設(shè)備的場地勘察、厘清以改善干擾源造成的設(shè)備故障、長期監(jiān)控環(huán)境參數(shù)等等都會有環(huán)境量測的需求。?

英國環(huán)境改善專家Spicer Consulting的智能檢測儀SC11、SC28挾帶其優(yōu)勢已成為國內(nèi)外科技大廠所使用，測量包含CD-SEM、EBL或是其它半導(dǎo)體設(shè)備的環(huán)境參數(shù)以確保符合規(guī)定。市面上環(huán)境量測工具五花八門，Spicer的智能檢測儀成為各家首選的原因在于：

【Spicer檢測儀】磁場強度測試誤差小

測量磁場干擾一般包含：磁場強度、磁場方向及磁場變化。常見的磁場強度測試儀器包含：磁強計、霍爾效應(yīng)傳感器、線圈探頭等。

Spicer系列的智能檢測儀可X、Y、Z三個方向同時量測，故取得的數(shù)據(jù)較為精準(zhǔn)。相較于一般磁場強度測試儀若僅能一次測量一個方向，容易因為短時間的磁場變化而產(chǎn)生些微誤差，加上每測量一個方向后都需重新歸零，也增加了人為因素導(dǎo)致的數(shù)據(jù)誤差。

此外，Spicer系列的智能檢測儀偵測出的數(shù)據(jù)不含地磁，若是在需要確保測試結(jié)果不受地磁干擾的一些應(yīng)用上，會比包含地磁數(shù)據(jù)的一些磁場強度測試儀更適合。

【Spicer檢測儀】振動三軸測量更全面準(zhǔn)確

測量振動干擾包含：振動幅度、頻率、速度、加速度及位移。

在振動測量上，Spicer系列的智能檢測儀同樣具X、Y、Z三軸同時量測的優(yōu)勢，并提供振動幅度、頻率、速度、加速度及位移等多個方向上的振動參數(shù)。相較于單軸的振動測量儀，Spicer檢測儀可取得更為準(zhǔn)確的資訊。

【Spicer檢測儀】多功能集成的智能軟件-磁場、震動、噪聲測量一并搞定

磁場強度測試儀、振動測量儀、噪聲檢測儀等設(shè)備分開采購令人頭痛，市面上雖有部分設(shè)備商可依需求加裝不同測量配備，但在軟件上如未整并完全，在數(shù)據(jù)分析上仍有儲多不便。

Spier檢測儀可測量磁場、震動和噪音(SC28還可多測量溫度與濕度)，更重要的是，其內(nèi)建智能軟件可整并所有偵測的環(huán)境干擾源數(shù)據(jù)，當(dāng)下即可看測量的參數(shù)變化。

Spicer智能檢測儀量測服務(wù)方案

我們獨家代理Spicer Consulting的智能檢測儀包含SC11、SC28，同時也提供這些設(shè)備的環(huán)境量測服務(wù)(長期/短期)方案，可偵測磁場、震動、噪音、溫度、濕度干擾源。歡迎與我們聯(lián)系

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