勀杰科技團(tuán)隊(duì) 編譯

本篇文章譯自：https://www.vibeng.com/blogs-and-case-studies/active-vs-passive-vibration-isolation/

為了減少環(huán)境振動(dòng)對設(shè)備性能的影響，了解主動(dòng)隔振與被動(dòng)隔振的差異至關(guān)重要。本文以常見的被動(dòng)式和主動(dòng)式防振臺(tái)為例來做約略說明，實(shí)際仍依各家品牌和型號會(huì)而有差異。被動(dòng)隔振臺(tái)利用彈簧和阻尼器的自然特性來減少振動(dòng)；而主動(dòng)隔振臺(tái)則使用帶有集成傳感器和執(zhí)行器的控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對低頻振動(dòng)更為有效的控制。

隔振臺(tái)廣泛應(yīng)用于電子顯微鏡、半導(dǎo)體以及顯示器制造等各類產(chǎn)業(yè)。被動(dòng)式隔震臺(tái)的設(shè)計(jì)通常較為簡單直觀，例如用于振動(dòng)泵下方的橡膠腳墊；或稍微復(fù)雜一些的汽車避震器和支柱。相比之下，主動(dòng)式隔振臺(tái)則采用了更為精密的技術(shù)，能應(yīng)對高度專業(yè)化的應(yīng)用需求。了解這兩種系統(tǒng)在實(shí)施方式和性能上的差異，是做出最佳解決方案選擇的關(guān)鍵。

什么是被動(dòng)式隔振臺(tái)

被動(dòng)式隔震臺(tái)常見由隔離質(zhì)量（負(fù)載）、彈簧（K）和阻尼器（C）三個(gè)組件共同構(gòu)成簡諧振動(dòng)系統(tǒng)。負(fù)載和彈簧的剛度決定了隔震臺(tái)的自然頻率。彈簧（隔離器）能有效減少地面振動(dòng)，防止其傳遞到負(fù)載；而阻尼器的作用則是消減隔震臺(tái)內(nèi)部放大的振動(dòng)。在多數(shù)情況下，由于氣動(dòng)彈簧具有低共振頻率的特性，因此常被用于被動(dòng)式隔震臺(tái)內(nèi)。

被動(dòng)式隔振臺(tái)相對便宜，并且在減少高頻振動(dòng)方面表現(xiàn)出色。然而，在處理某些低頻振動(dòng)問題時(shí)，被動(dòng)式隔振臺(tái)的自然共振會(huì)帶來挑戰(zhàn)。此外，這類系統(tǒng)還存在較難控制及需要較長穩(wěn)定時(shí)間的缺點(diǎn)。

什么是主動(dòng)式隔振臺(tái)

主動(dòng)式隔振臺(tái)的反饋控制系統(tǒng)由振動(dòng)傳感器、致動(dòng)器和運(yùn)算電路組成。該系統(tǒng)能將敏感設(shè)備與被動(dòng)式隔振系統(tǒng)區(qū)隔開來，避免被動(dòng)系統(tǒng)在共振頻率下放大低頻振動(dòng)。傳感器檢測六自由度方向的振動(dòng)，數(shù)位控制器則將測得的振動(dòng)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為數(shù)位信號。隨后，控制器將信號發(fā)送給執(zhí)行器，通過產(chǎn)生反向力來消除振動(dòng)。當(dāng)高解析度電子顯微鏡和精密制造設(shè)備遇到低頻振動(dòng)問題時(shí)，主動(dòng)式隔振臺(tái)是必須的解決方案。

勀杰科技提供環(huán)境振動(dòng)干擾解決方案，AVI主動(dòng)式防振臺(tái)(又稱除振臺(tái)、減振臺(tái)、隔振臺(tái))可應(yīng)用于各種對低頻振動(dòng)敏感的精密儀器設(shè)備，相關(guān)隔振需求請聯(lián)系我們！