勀杰科技團隊 編譯

本篇文章譯自：https://www.vibeng.com/blogs-and-case-studies/how-emi-cancellation-systems-work/

EMI消除系統(tǒng)旨在消除影響電子顯微鏡效能的電磁干擾 (EMI)。該系統(tǒng)利用感測器、控制器和線圈回路來監(jiān)測電子束周圍的環(huán)境磁場，并產(chǎn)生相等且相反的磁場，以抵消可能對影像造成干擾的EMI。

顯微鏡類型、實驗室布局、磁場類型和鄰近設(shè)備均會影響EMI消除系統(tǒng)的設(shè)計與安裝。勀杰科技團隊可根據(jù)需求客制化解決方案。

EMI消除系統(tǒng)的工作原理

EMI消除系統(tǒng)偵測電子束柱或感測器位置的磁場。通過精密設(shè)計的線圈布局，該系統(tǒng)能夠生成與環(huán)境磁場相等且方向相反的磁場，使環(huán)境磁場與EMI消除系統(tǒng)產(chǎn)生的磁場互相抵消，達到消除效果。

此過程類似于降噪耳機透過檢測環(huán)境噪音來消除噪音。對EMI消除系統(tǒng)而言，結(jié)果是減輕環(huán)境磁場對電子顯微鏡影像或電子束設(shè)備的負面影響。

磁場消除系統(tǒng)的三個組成部分

感測器 – 感測器負責(zé)偵測磁場并向控制器發(fā)送訊號，測量環(huán)境中磁場分量的頻率和幅度。

控制器 – 控制器從感測器收集數(shù)據(jù)，并透過圍繞顯微鏡或設(shè)備的線圈回路發(fā)送電流。

磁場線圈 – 流經(jīng)這些線圈的電流會產(chǎn)生與感測器偵測的環(huán)境磁場相等且相反的磁場。工程師將根據(jù)顯微鏡類型、房間布局、磁場類別和強度，以及相鄰設(shè)備進行線圈最佳化排布。

電子顯微鏡或電子束微影設(shè)備的類型如何影響EMI消除

設(shè)備相關(guān)因素會影響EMI消除。例如，電子束的長度決定其對外部磁場干擾的靈敏度。電子束越長，所需的磁場消除均勻性就越高。

成像類型也會影響EMI消除。對于較長時間的成像，間歇性直流磁場（如電梯或大型鐵磁物體的移動）可能會導(dǎo)致影像或數(shù)據(jù)失真。但對于短時間成像，這些間歇性干擾影響較小，因為影像可以快速重新拍攝。

房間布局如何影響EMI消除系統(tǒng)

為使磁場消除系統(tǒng)最佳運作，電子顯微鏡應(yīng)置于磁場消除環(huán)境中央。如果顯微鏡位于房間中央，則房間線圈可能是最佳選擇；若顯微鏡位于大房間或問題位置，則考慮替代安裝。具有外殼的電子顯微鏡可將線圈布置于內(nèi)部，此方法適用于多種顯微鏡或電子束設(shè)備。勀杰科技團隊可根據(jù)具體情況與您探討最佳方案。

磁場類型和強度如何影響EMI消除系統(tǒng)

在確定最佳消除系統(tǒng)時，磁場類型和強度至關(guān)重要。直流磁場所需的感測器和控制器與交流磁場不同，需要針對特定需求進行配置。

磁場強度同樣重要。勀杰科技工程師對線圈回路系統(tǒng)進行模擬以優(yōu)化沿著電子束柱的磁場消除效果。性能模擬有助于確保系統(tǒng)適應(yīng)影響顯微鏡的磁場大小和類型。

相鄰設(shè)備和房間對EMI消除系統(tǒng)的影響

由于磁場消除回路會產(chǎn)生磁場來抵消顯微鏡周圍的磁場，在設(shè)計EMI消除系統(tǒng)時必須考慮相鄰設(shè)備的影響。相鄰房間的磁場消除系統(tǒng)甚至?xí)ハ喔蓴_。

勀杰科技工程師有多種方案可確保多個磁場消除系統(tǒng)不會互相干擾或影響相鄰顯微鏡的正常運作，我們進行設(shè)計和模擬以保證磁場消除效果及多系統(tǒng)協(xié)同運作。

結(jié)論

安裝EMI消除系統(tǒng)是一個復(fù)雜過程，受多種因素影響。與擁有超過15年經(jīng)驗的環(huán)境解決方案提供商合作會有所幫助。勀杰科技可根據(jù)您的特殊要求設(shè)計和安裝磁場消除系統(tǒng)。

如果您有任何疑問或想討論貴單位的特殊需求，請立即與我們聯(lián)系！