文╱勀杰科技團(tuán)隊(duì)

在實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體廠或地鐵附近，你是否遇到過電子束設(shè)備因強(qiáng)烈的電磁干擾而出現(xiàn)圖像分辨率不佳？本文將帶你認(rèn)識(shí)SPICER Consulting主動(dòng)式消磁器，了解它如何在復(fù)雜的磁場(chǎng)環(huán)境中保護(hù)高科技儀器。

Spicer Consulting 主動(dòng)式消磁器是什么？

簡(jiǎn)單來說，這是一款高效的電磁干擾抑制設(shè)備，廣泛應(yīng)用在大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體制造工廠及靠近地鐵的實(shí)驗(yàn)場(chǎng)所。通過一套智能系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)外部電磁干擾，并生成反向磁場(chǎng)，有效抵消干擾，使得掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）等高精密儀器免受 EMI（電磁干擾）的影響。

主要特點(diǎn)

1.有效解決電磁干擾問題：該設(shè)備可確保 SEM/FIB/TEM 等精密儀器在受到外部環(huán)境電磁干擾時(shí)，仍能保持高品質(zhì)成像。

2.智能遠(yuǎn)程監(jiān)控：采用智能監(jiān)控系統(tǒng)，能夠?qū)崟r(shí)記錄環(huán)境數(shù)據(jù)，用戶可隨時(shí)掌握設(shè)備狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程作和管理（需搭配SC軟件）。

3.廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造業(yè)：針對(duì)半導(dǎo)體制造過程中的磁場(chǎng)干擾問題，SC26型主動(dòng)式消磁器可有效抵御高架天車系統(tǒng)產(chǎn)生的9000Hz磁場(chǎng)，保障電子束設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。

常見電磁干擾來源

● 近距離照明設(shè)備、空調(diào)等電器

● 周圍運(yùn)作的精密儀器

● 移動(dòng)中的大型金屬物體（如汽車、電車、地鐵、電梯等）

● 電纜、配電箱及變壓器

● 鐵制結(jié)構(gòu)框架與接地線

安裝模式

1. 房間型：適用于TEM或新建實(shí)驗(yàn)室、大型科研空間。

2. 框架型：適用于各類儀器，包括電子顯微鏡（SEM）、電子束光刻機(jī)（EBL）、晶圓級(jí)關(guān)鍵尺寸測(cè)量設(shè)備（CD-SEM）等。

消磁原理

主動(dòng)式消磁器能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境磁場(chǎng)，并在極短時(shí)間內(nèi)生成一個(gè)反向磁場(chǎng)，精確抵消干擾源，使儀器免受磁場(chǎng)影響。

實(shí)際案例

案例1：某知名大學(xué)實(shí)驗(yàn)室
某大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)室在安裝了一臺(tái)高端 TEM之后，發(fā)現(xiàn)設(shè)備受到地鐵經(jīng)過時(shí)的磁場(chǎng)干擾，導(dǎo)致成像質(zhì)量下降。 在安裝SPICER Consulting的主動(dòng)式消磁器后，實(shí)驗(yàn)室成功消除了地鐵引起的磁場(chǎng)波動(dòng)，保證了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性。

案例2：半導(dǎo)體制造工廠
某半導(dǎo)體公司在其生產(chǎn)線中引入新的光刻機(jī)，但設(shè)備運(yùn)行時(shí)受到了周圍電源線路和變壓器產(chǎn)生的磁場(chǎng)干擾，影響生產(chǎn)精度。 通過安裝框架型主動(dòng)式消磁器，該公司大幅提升了設(shè)備的精度和生產(chǎn)良率。

評(píng)估與實(shí)施

在安裝前，需要專業(yè)人員進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量和評(píng)估，并根據(jù)實(shí)際情況提供最佳解決方案。 SPICER Consulting的主動(dòng)式消磁器為科研和制造提供了可靠的電磁保護(hù)，確保高精密設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，提高實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)的可靠性。

通過主動(dòng)式消磁器的應(yīng)用，我們可以有效規(guī)避電磁干擾帶來的影響，確保高科技設(shè)備的精準(zhǔn)運(yùn)行，從而推動(dòng)科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)的順利進(jìn)行。

如果您有主動(dòng)式消磁器相關(guān)問題，歡迎立即與我們聯(lián)系！