文╱勀杰科技團隊

一款創(chuàng)新監(jiān)測系統(tǒng)（SC28 監(jiān)測系統(tǒng)，Spicer Consulting）已經(jīng)上市，該系統(tǒng)可連續(xù)記錄三軸磁場和地面振動，以及聲級、溫度和濕度。此系統(tǒng)可透過連接到相同局域網(wǎng)絡的計算機進行控制，所有收集到的信息均由軟件自動儲存在帶有日期戳記的檔案中。此程序也可用于定義環(huán)境參數(shù)，例如最小值/最大值，或最大振幅與頻率的頻譜。軟件會不斷將每個參數(shù)的測量值與使用者定義的參數(shù)進行比較，并將實時結(jié)果顯示在一個小窗口中。

SC28可設定為在任何參數(shù)超出允許范圍時向用戶發(fā)送電子郵件。此操作可以一次執(zhí)行，也可以按指定頻率執(zhí)行，以確保及時處理問題。此外，還可以使用交通號志發(fā)出視覺警告，這在半導體生產(chǎn)等制造環(huán)境中非常有用。

此程序支持六種尺度和三種不同格式—示波器、頻譜和圖表—最多可同時顯示 14張圖表（見圖1）。專用工具SCplot還允許使用者處理大型數(shù)據(jù)集，并以可視化的方式呈現(xiàn)長期環(huán)境參數(shù)的變化。例如，圖2顯示了從335個檔案（每個檔案近70 MB）中提取的一周磁場數(shù)據(jù)，每個檔案包含30分鐘的記錄，以每秒一個點的速度記錄 3軸磁場、3軸振動、聲學、溫度和濕度。這些圖可以儲存為圖像或附加到文本文件以簡化報告。此外，SCplot支持宏腳本，允許用戶保存命令序列并在稍后重新運行。

EM 制造商和用戶共享的解決方案

電鏡工具通常用于依賴精確高質(zhì)量影像的應用，例如高級研究或半導體產(chǎn)業(yè)的檢測和質(zhì)量控制，因此保護它們免受環(huán)境干擾至關重要。遺憾的是，電磁系統(tǒng)的用戶通常無法立即識別外部干擾，并且可能需要一些時間才能確定影像失真的根本原因，從而延誤研究或制造活動。

SC28監(jiān)控系統(tǒng)可為這些工具提供全天候 (24/7) 環(huán)境監(jiān)控，并協(xié)助快速診斷由外部干擾引起的問題。它還可以用作警報系統(tǒng)，持續(xù)將測得的環(huán)境讀數(shù)與顯微鏡規(guī)格或用戶設定的數(shù)值進行比較，允許本地可見警告，并在參數(shù)超出規(guī)格時發(fā)送錯誤報告。這讓電磁操作員對其儀器的長期穩(wěn)定性完全放心。?

SC28不僅對電鏡操作員有用，電鏡制造商還可以使用它來收集儀器數(shù)據(jù)并將其上傳到云端，以便服務工程師在電鏡影像分辨率出現(xiàn)問題時進行遠程分析。這可以幫助工程師快速確定問題是與環(huán)境還是儀器本身有關，從而確保盡快發(fā)現(xiàn)并解決問題。電鏡制造商還可以使用SC28在儀器組裝過程中監(jiān)控環(huán)境條件，以幫助診斷和解決意外外部干擾造成的問題。

結(jié)論

質(zhì)量控制活動依賴重要的性能數(shù)據(jù)，而持續(xù)環(huán)境監(jiān)測解決方案的引入將帶來重大變革，有助于確保電子顯微鏡和光刻系統(tǒng)的運作標準。SC28 可連續(xù)監(jiān)測振動、磁場、聲波、溫度和濕度，無需使用者干預，有助于識別外部干擾（無論是持續(xù)、間歇或瞬態(tài)干擾）導致的潛在分辨率問題，并幫助用戶更好地控制其制程和環(huán)境。

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