勀杰科技團隊 整理

在精密電子顯微鏡的應(yīng)用中，其成像精度與環(huán)境穩(wěn)定性息息相關(guān) —— 低頻振動會導(dǎo)致圖像邊緣模糊，電磁干擾會使電子束發(fā)生偏折，環(huán)境噪音則可能影響設(shè)備內(nèi)部組件的穩(wěn)定運行。在影響電鏡成像的諸多因素中，電磁干擾是最隱蔽卻最致命的 “隱形殺手”，而電鏡屏蔽系統(tǒng)中的主動消磁模塊，正是針對這一問題的核心技術(shù)載體。

勀杰科技代理的Spicer Consulting主動式消磁器通過先進的主動消磁技術(shù)，為高精度電鏡創(chuàng)造穩(wěn)定的磁場環(huán)境，確保成像質(zhì)量達到最佳狀態(tài)。其中，SC22 專為交流磁場干擾設(shè)計，能在 2.5Hz-5000Hz 頻率范圍內(nèi)將 50/60Hz 的 AC 線路場干擾減少 50 倍，反應(yīng)時間小于 100 微秒，可快速抵消實驗室周邊電網(wǎng)、電器設(shè)備產(chǎn)生的交流磁場，避免電子束因磁場波動發(fā)生偏折，從而保障電鏡成像的清晰度與測量精度；SC24 則進一步實現(xiàn)了交直流雙磁場屏蔽，通過三軸多芯線圈與雙感測探頭的協(xié)同工作，不僅能消除交流磁場，還能應(yīng)對電車、電梯等移動金屬物體產(chǎn)生的直流磁場干擾，進一步拓展了電鏡屏蔽系統(tǒng)的應(yīng)用場景。

環(huán)境噪音雖不直接影響電子束軌跡，卻會通過設(shè)備外殼傳導(dǎo)至內(nèi)部精密組件，導(dǎo)致輕微振動或信號干擾，而電鏡屏蔽系統(tǒng)中的聲學(xué)屏蔽模塊，則為電鏡打造了安靜的 “聲學(xué)防護罩”。勀杰科技所代理的Herzan 電鏡防噪音箱，憑借其高性能材料與模塊化設(shè)計，成為電鏡屏蔽系統(tǒng)中聲學(xué)防護的標(biāo)桿產(chǎn)品。該隔音箱采用 13 層可變密度隔音材料疊加設(shè)計，能在 50-5000Hz 頻率范圍內(nèi)實現(xiàn)高效噪音衰減，可有效隔絕實驗室中真空泵、冷卻器、空壓機等設(shè)備產(chǎn)生的持續(xù)性噪音，將電鏡運行環(huán)境的噪音水平控制在極低范圍。

低頻振動是另一個易被忽視的干擾源，尤其對原子力顯微鏡（AFM）、激光干涉儀等電鏡配套設(shè)備影響顯著，而電鏡屏蔽系統(tǒng)中的振動隔離模塊，則通過主動減震技術(shù)為電鏡筑起了 “穩(wěn)定底座”。勀杰科技所代理的Herz AVI Series 主動式減震臺作為這一模塊的核心設(shè)備，具備六自由度全方位隔振能力 —— 在 0.5Hz-200Hz 頻率范圍內(nèi)采用主動減震技術(shù)，通過內(nèi)置傳感器實時檢測環(huán)境振動，再以 5-20ms 的超快響應(yīng)速度生成反向作用力抵消干擾；當(dāng)頻率超過 200Hz 時，系統(tǒng)自動切換為被動減震模式，進一步覆蓋高頻振動干擾。

在半導(dǎo)體制造和納米材料研究領(lǐng)域，電鏡屏蔽系統(tǒng)始終扮演著 “微觀觀測守護者” 的角色。它并非單一設(shè)備的簡單堆砌，而是電磁屏蔽、聲學(xué)降噪、振動隔離的有機整合，是技術(shù)創(chuàng)新與實際需求的深度契合。勀杰科技通過整合 Spicer、Herzan、Herz 等全球領(lǐng)先品牌的核心技術(shù)，為用戶提供從環(huán)境檢測、方案設(shè)計到安裝調(diào)試、售后維護的一站式電鏡屏蔽系統(tǒng)服務(wù)，不僅節(jié)省了用戶的溝通成本，更能確保系統(tǒng)各模塊的協(xié)同適配，最大化發(fā)揮防護效果。

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