進入300mm晶圓廠中不難發(fā)現(xiàn)，當晶圓運輸天車在運作過程中，將會產(chǎn)生9 kHz的磁場干擾，嚴重影響周遭電子束檢測設(shè)備的性能，成為提升半導(dǎo)體CD節(jié)點技術(shù)的阻礙之一。 『Spicer Consulting SC26型』透過系統(tǒng)的線圈對環(huán)境磁場進行負反饋的磁場來穩(wěn)定機臺運行的磁場穩(wěn)定，恢復(fù)電子束檢測設(shè)備的性能。

Spicer主動式消磁器SC26的組成包括一個控制器，一個或兩個200 kHz磁場傳感器和一組三軸線圈，用以優(yōu)化電子束檢測設(shè)備的性能。另外可使用擴充組合接頭，將SC26與SC24的磁場傳感器合并使用，更能大幅解決DC直流電干擾。 Spicer SC26主動式消磁器是即時動態(tài)的，針對外部磁場變化為自動回應(yīng)，回應(yīng)時間小于10微秒。

SC26主動式消磁器不能采用像SC24一樣可以將其線圈安裝在機臺整個房間內(nèi)的安裝方式，通常直接安裝在電子束檢測設(shè)備機柜內(nèi)部進行運作。

Spicer SC26 主動式消磁器特點：

1. 使300 mm晶圓廠中的電子束檢測設(shè)備的環(huán)境磁場維持穩(wěn)定狀態(tài)

2. 同時消除AC交流磁場以及DC直流磁場干擾

3. 適應(yīng)10μs之內(nèi)的磁場幅度和頻率變化

4. 觸控式螢?zāi)唤槊?UI)

5. 針對外部磁場改變的瞬間反應(yīng)時間為10微秒以內(nèi)

6. 監(jiān)具有USB連接口提供監(jiān)控

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