勀杰科技 編撰

在半導體產(chǎn)業(yè)中，電子顯微鏡是品質(zhì)控管(Quality Control，簡稱QC)的重要工具，工程師們透過電子顯微鏡對晶片做微觀結構分析，找出可能存在的問題與缺陷，以優(yōu)化產(chǎn)品制程。隨著微電子元件、微控制器的「微」時代來臨，半導體制程需要更高倍率、更高解析的成像品質(zhì)。然而，來自于外部環(huán)境的眾多干擾，讓高解析度成為一項挑戰(zhàn)。

當電子顯微鏡成像未如預期，就需花費大量時間來排除原因。如果不能及時解決問題，整體制程進度也會因此延宕，甚至造成生產(chǎn)數(shù)量減少、企業(yè)成本上升的情況。 Spicer Consulting特別針對需要使用高階電子顯微鏡成像的產(chǎn)業(yè)推出新型雙機組合【SC24 Plus intelligent system】，結合主動式消磁技術和智能環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，解決電子顯微鏡高解析成像應用領域的三大難題。

注：本文將以「SC24 Plus雙機強化版」來簡稱「主動式消磁器雙機強化版 SC24 Plus intelligent system」。

一、【高品質(zhì)成像】主動式消磁技術解決AC/DC兩種電磁干擾

電子顯微鏡透過電子束的聚焦精準度來取得高解析度的成像，因此需避免周遭環(huán)境影響而使電子束偏離軌道，造成圖像解析度下降的問題。而常見的環(huán)境干擾便是電磁干擾(Electro Magnetic Interference，簡稱EMI)，AC交流電磁干擾會使圖像出現(xiàn)鋸齒狀的尖銳邊緣；DC直流電磁干擾則會使圖像出現(xiàn)波浪狀的線條。

SC24 Plus雙機強化版采用先進的主動式消磁技術，提供客制化的線圈安裝模式，在偵測到磁場干擾時便會自動產(chǎn)生反向磁場來抵銷，讓電子顯微鏡的應用能維持高品質(zhì)成像。 SC24 Plus雙機強化版分別能消除2.5 Hz – 5000 Hz 的AC交流電和0-5000 Hz的DC直流電造成的電磁干擾。

二、【全面監(jiān)控多項環(huán)境干擾】同時監(jiān)測5種干擾源并即時警報

電子顯微鏡需要精確的環(huán)境控制才能獲得最佳的成像效果。在評估任何環(huán)境是否可做為建置電子顯微鏡的實驗室使用時，需透過專業(yè)的測量系統(tǒng)來評估，并于安裝后持續(xù)監(jiān)測環(huán)境。然而環(huán)境干擾源不僅有EMI，市場上卻少有能同時不間斷地監(jiān)測多種環(huán)境干擾的儀器。

SC24 Plus雙機強化版擁有能同步監(jiān)測溫度、濕度、噪音、震動、磁場共五種環(huán)境干擾源的智慧系統(tǒng)，最多能一次顯示14種報表數(shù)據(jù)。用戶可自定義環(huán)境參數(shù)范圍限制，當偵測到超出允許范圍時，智能警報系統(tǒng)將由綠燈轉(zhuǎn)為紅燈發(fā)出警告，能幫助半導體制造或高階電子顯微鏡研究領域提早發(fā)現(xiàn)潛在問題并即時處理。

三、【減少停機時間】24H不間斷監(jiān)測報告協(xié)助調(diào)查成像失真原因

當發(fā)生電子顯微鏡的成像解析度下降時，難以直接判定是外部環(huán)境干擾影響或設備故障導致，這時就必須先停機找出原因。電子顯微鏡操作員需不斷地找設備商、磁場專家、震動專家等逐一調(diào)查直到找出問題來源，這些診斷過程繁雜冗長。 SC24 Plus雙機強化版擁有24小時不間斷監(jiān)測的功能，可在最短的時間調(diào)出資料，判別指定期間是否為環(huán)境干擾所引起，減少停機耗費的時間成本。遠端監(jiān)測功能還能協(xié)助工程師初步排除問題、減少來回約訪次數(shù)，對于電子顯微鏡供應商及使用者都能節(jié)省寶貴時間。

當然，電子顯微鏡供應商本身也能透過SC24 Plus雙機強化版來監(jiān)控電子顯微鏡制造過程，以判斷產(chǎn)品在測試階段發(fā)生影像不佳原因是否來自于環(huán)境干擾。

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