勀杰科技 編著

現(xiàn)代科技多數(shù)設(shè)備都依賴(lài)于電子元件和電子系統(tǒng)，因此電磁干擾所造成的影響越來(lái)越大。電磁干擾（Electromagnetic Interference,簡(jiǎn)稱(chēng)EMI）是指電磁波與電子設(shè)備之間的相互影響，而導(dǎo)致設(shè)備的性能下降，嚴(yán)重甚至可使設(shè)備損壞或故障，電磁干擾可能影響的范圍像是電子顯微鏡、高精密儀器、通信設(shè)備、汽車(chē)、飛機(jī)、醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)設(shè)備等。

其中，電子顯微鏡(Electron Microscope, EM) 是現(xiàn)今微米、奈米科技研發(fā)與檢驗(yàn)的重要工具，例如：掃描式電子顯微鏡（SEM）和穿透式電子顯微鏡（TEM），這些設(shè)備利用高能量的電子束來(lái)觀測(cè)微結(jié)構(gòu)的表面形貌和物質(zhì)的元素組成，周?chē)h(huán)境的電磁會(huì)造成設(shè)備信號(hào)干擾、電子成像的解析度下降、成像失真或扭曲變形、圖像雜訊和量測(cè)數(shù)據(jù)不精準(zhǔn)等問(wèn)題，除了電磁干擾外，環(huán)境中的震動(dòng)、噪音也會(huì)對(duì)電子顯微鏡的性能造成影響，如何有效量測(cè)并分析環(huán)境具有哪些干擾因子并將干擾程度數(shù)據(jù)化，以幫助研究員選擇對(duì)應(yīng)的解決方案，成為了現(xiàn)代科學(xué)中一門(mén)重要的課題。

由于可能造成影響的干擾源不只一種，過(guò)去為了厘清環(huán)境干擾源及影響程度，必須找來(lái)多家不同量測(cè)項(xiàng)目的廠商，一一找出或排除可能因子，過(guò)程往往繁瑣耗時(shí)且費(fèi)用可觀，來(lái)自英國(guó)科技大廠Spicer Consulting的SC11環(huán)境量測(cè)儀可有效解決上述困擾。

【全面量測(cè)AC/DC磁場(chǎng)、震動(dòng)、噪音】

SC11環(huán)境量測(cè)儀一次加載了三種探測(cè)器：磁場(chǎng)、震動(dòng)、噪音量測(cè)，使其能夠有效地綜合評(píng)估精密儀器周?chē)沫h(huán)境干擾源強(qiáng)度與頻率，并提供詳盡的數(shù)據(jù)報(bào)告，其中磁場(chǎng)更可量測(cè)AC交流磁場(chǎng)與DC直流磁場(chǎng)的方向與相對(duì)位置，使用者可迅速根據(jù)量測(cè)分析的結(jié)果，采取對(duì)應(yīng)的策略以解決環(huán)境干擾與電磁干擾問(wèn)題。

SC11環(huán)境量測(cè)儀可測(cè)量從DC到13 kHz的電磁場(chǎng)強(qiáng)度，AC的磁場(chǎng)量測(cè)范圍更可達(dá)20 kHz，震動(dòng)幅度從最小的0.1到最大500 Hz，并采用精密麥克風(fēng)探測(cè)器，聲音分貝可支援20 dB到110 dB，甚至可量測(cè)半導(dǎo)體潔凈室中頂部晶圓傳送器所產(chǎn)生的9 kHz磁場(chǎng)等，可符合SEM、TEM、9kHz晶片傳送天車(chē)等各式精密儀器之環(huán)境量測(cè)需求。

SC11環(huán)境量測(cè)儀可應(yīng)用之產(chǎn)業(yè)和設(shè)備非常廣泛，特別是需要進(jìn)行EMI測(cè)量和分析的行業(yè)，像是電子產(chǎn)品、電路板、半導(dǎo)體、醫(yī)療、交通、能源、通訊等產(chǎn)業(yè)，以及需要高精密測(cè)量的科學(xué)研究機(jī)構(gòu)和實(shí)驗(yàn)室。

【勀杰科技提供多元的解決方案】

透過(guò)SC11查找出環(huán)境干擾因子，勀杰科技也有提供一系列對(duì)應(yīng)的解決方案，以最大化電子顯微鏡與高精密儀器的效能及穩(wěn)定性，如：

• Spicer Consulting主動(dòng)式消磁器SC22、SC24、SC26，可建立屏蔽磁場(chǎng)的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
• Herz主動(dòng)式防震臺(tái)，主動(dòng)檢測(cè)輸入震動(dòng)幅度并動(dòng)態(tài)消除。
• Herzan電子顯微鏡防噪音箱，使用多層隔音材料，加上模組化、拼接式設(shè)計(jì)，有效阻隔噪音又方便使用。

【一站式服務(wù)，從量測(cè)、分析到解決方案】

整體而言，電子顯微鏡等高精密儀器作為關(guān)鍵的科學(xué)研究設(shè)備，環(huán)境干擾和電磁干擾所造成的影響不容小覷。為了確保這些高精密儀器能正常運(yùn)作并維持高解析度、高靈敏度，需要對(duì)其周?chē)沫h(huán)境進(jìn)行嚴(yán)謹(jǐn)?shù)母蓴_測(cè)量和分析，這就需要專(zhuān)業(yè)的工具和技術(shù)。

Spicer Consulting 的 SC11環(huán)境量測(cè)儀提供最全面的專(zhuān)業(yè)量測(cè)分析工具，并被世界領(lǐng)先的電子顯微鏡制造商及首屈一指的半導(dǎo)體制造商所使用。加上勀杰科技提供一站式服務(wù)，從場(chǎng)地量測(cè)探勘到改善方案一應(yīng)俱全，從臺(tái)灣出發(fā)跨國(guó)至中國(guó)、東南亞地區(qū)并擁有豐富的電鏡影像經(jīng)驗(yàn)從而協(xié)助客戶(hù)找出設(shè)備周?chē)母蓴_源，并對(duì)癥下藥提供相對(duì)應(yīng)的解決方案，從而確保設(shè)備產(chǎn)出結(jié)果之準(zhǔn)確性，提高生產(chǎn)效率，降低故障率，加速科技研究進(jìn)程，并為人類(lèi)高科技文明發(fā)展盡一份心力。

若您有主動(dòng)式消磁器、環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器等相關(guān)需求想要討論，或想要更進(jìn)一步了解更多相關(guān)知識(shí)！

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