勀杰科技團(tuán)隊(duì) 整理

在高科技飛速發(fā)展的今天，半導(dǎo)體制造業(yè)作為信息技術(shù)的基礎(chǔ)支撐，對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和磁場控制提出了極高的要求。特別是在300mm晶圓的生產(chǎn)線上，晶圓運(yùn)輸工具在高速移動過程中產(chǎn)生的高頻磁場若得不到有效管理，將直接影響電子束設(shè)備的精度和穩(wěn)定性，進(jìn)而影響芯片的生產(chǎn)質(zhì)量和良率。為了應(yīng)對這一挑戰(zhàn)，主動消磁設(shè)備應(yīng)運(yùn)而生，其中SC26以其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用，成為了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域磁場管理的佼佼者。

SC26作為第四代磁場抵消系統(tǒng)，是主動消磁設(shè)備領(lǐng)域的一次重要革新。它不僅繼承了前幾代產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)，更在消磁效率、智能控制、適應(yīng)性和易用性等方面實(shí)現(xiàn)了顯著提升。該系統(tǒng)專為300mm晶圓廠設(shè)計(jì)，特別優(yōu)化了針對晶圓運(yùn)輸工具在9kHz頻率下產(chǎn)生的高頻磁場的抵消能力，確保了電子束設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和芯片生產(chǎn)的高精度。

SC26的工作原理基于寬帶模擬負(fù)反饋技術(shù)，通過嵌入式微型計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)對測量磁場進(jìn)行數(shù)字化處理，并實(shí)時(shí)生成反向磁場以抵消干擾磁場。與傳統(tǒng)消磁系統(tǒng)相比，SC26在反饋回路的設(shè)計(jì)上更加精細(xì)，能夠更快速、更準(zhǔn)確地適應(yīng)磁場幅度的變化和頻率的波動。其控制單元具備兩個(gè)傳感器輸入端，支持單傳感器或雙傳感器工作模式，當(dāng)檢測到兩個(gè)傳感器時(shí)，將啟用混頻器功能，進(jìn)一步提升了系統(tǒng)的靈活性和適應(yīng)性。

SC26配備了觸摸屏智能用戶界面，用戶可以通過簡單的操作實(shí)現(xiàn)自動設(shè)定和直流復(fù)位功能。界面上同時(shí)顯示交流及直流磁場數(shù)值，并支持Tesla或Gauss等不同單位的切換，使得磁場管理更加直觀和便捷。此外，系統(tǒng)還內(nèi)置了測試場發(fā)生器，方便用戶進(jìn)行設(shè)備校準(zhǔn)和性能驗(yàn)證。

為了滿足半導(dǎo)體制造廠對設(shè)備遠(yuǎn)程管理的需求，SC26配備了以太網(wǎng)和USB端口，支持遠(yuǎn)程操作和監(jiān)視功能。這意味著工程師可以在控制室內(nèi)通過電腦對SC26進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)整，大大提高了生產(chǎn)效率和設(shè)備管理的便捷性。

SC26作為主動消磁設(shè)備的代表之作，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。其卓越的性能、智能的控制功能和廣泛的應(yīng)用場景，使得SC26成為了磁場管理的首選方案。隨著半導(dǎo)體制造業(yè)的不斷發(fā)展，SC26將繼續(xù)發(fā)揮其獨(dú)特優(yōu)勢，為芯片的高質(zhì)量生產(chǎn)保駕護(hù)航。勀杰科技作為該品牌作為中國唯一代理商，致力于將SC26的優(yōu)秀性能和先進(jìn)理念帶給更多的中國客戶，共同推動工業(yè)制造業(yè)的發(fā)展和創(chuàng)新。