勀杰科技團(tuán)隊(duì) 整理

主動(dòng)消磁器在現(xiàn)代科技領(lǐng)域，尤其是在電子束設(shè)備的應(yīng)用中扮演著至關(guān)重要的角色。隨著電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化敏感性的增加，主動(dòng)消磁器成為了確保設(shè)備性能穩(wěn)定的關(guān)鍵組件。在眾多主動(dòng)消磁器型號(hào)中，英國Spicer推出的SC22、SC24和SC26以其優(yōu)越的性能和廣泛的應(yīng)用范圍，成為了眾多實(shí)驗(yàn)室的優(yōu)選。

SC22主動(dòng)消磁系統(tǒng)是一款專為解決電子束設(shè)備因環(huán)境磁場(chǎng)干擾導(dǎo)致的分辨率和測(cè)量精度下降問題而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它采用三維空間內(nèi)的交流磁場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)，通過傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場(chǎng)及其變化量，然后利用三維空間線圈提供反磁場(chǎng)，從而有效抵消環(huán)境磁場(chǎng)的影響。SC22的工作頻率范圍覆蓋0.5Hz至5kHz，能夠顯著改善市電50Hz或60Hz的交流背景磁場(chǎng)，使其影響降低50倍。該系統(tǒng)具備智能用戶界面，操作簡(jiǎn)便，支持自動(dòng)運(yùn)行和連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng)，確保電子束設(shè)備始終處于最佳工作狀態(tài)。此外，SC22還提供高靈敏度傳感器，支持雙傳感器配置，以應(yīng)對(duì)TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場(chǎng)的挑戰(zhàn)。

SC24主動(dòng)消磁器采用了先進(jìn)的動(dòng)態(tài)磁場(chǎng)穩(wěn)定技術(shù)，通過實(shí)時(shí)創(chuàng)建幾乎相等且相反的場(chǎng)變化來抵消環(huán)境磁場(chǎng)對(duì)電子束設(shè)備的影響。SC24系統(tǒng)包括磁場(chǎng)控制單元、一個(gè)或兩個(gè)磁場(chǎng)傳感器以及三根正交軸多芯電纜，安裝靈活，適用于各種實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。其獨(dú)特的觸摸屏智能用戶界面，不僅提供了直觀的操作體驗(yàn)，還支持自動(dòng)設(shè)置和直流復(fù)位功能，大大簡(jiǎn)化了操作流程。SC24能夠在100微秒內(nèi)自動(dòng)響應(yīng)磁場(chǎng)變化，確保電子顯微鏡等精密儀器始終處于最佳性能狀態(tài)。

SC26主動(dòng)消磁器作為第四代磁場(chǎng)抵消系統(tǒng)，SC26被優(yōu)化用于抵消300mm晶圓廠里晶圓運(yùn)輸工具的高頻磁場(chǎng)，消除范圍在2.5-60000Hz中。它采用了嵌入式微型計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)測(cè)量磁場(chǎng)進(jìn)行數(shù)字化處理，并通過寬帶模擬負(fù)反饋技術(shù)產(chǎn)生反磁場(chǎng)。SC26具備實(shí)時(shí)寬帶消除從DC到>9kHz的磁場(chǎng)能力，能夠在10微秒之內(nèi)適應(yīng)磁場(chǎng)幅度和頻率變化，確保電子束設(shè)備在復(fù)雜多變的電磁環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。此外，SC26還提供了混合式雙傳感器配置，可在EM模塊里產(chǎn)生一個(gè)虛擬感應(yīng)器，進(jìn)一步提升了消磁效果。

SC22、SC24和SC26主動(dòng)消磁器以其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和廣泛的應(yīng)用范圍，在電子束設(shè)備領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。無論是追求高分辨率和高精度的電子顯微鏡，還是需要穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境的電子束曝光系統(tǒng)，勀杰科技作為Spicer在中國的獨(dú)家代理，都能提供有效的解決方案和高質(zhì)量產(chǎn)品，確保設(shè)備性能的穩(wěn)定性和可靠性，積極為客戶服務(wù)。