文╱勀杰科技團(tuán)隊

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，環(huán)境電磁干擾（EMI）對設(shè)備性能和生產(chǎn)效率具有深遠(yuǎn)影響。Spicer Consulting推出的主動式消磁器SC26，憑借卓越的性能與靈活的應(yīng)用方案，為半導(dǎo)體工廠內(nèi)的生產(chǎn)與檢測流程提供了堅實(shí)支撐。

SC26在抑制高頻磁場干擾方面表現(xiàn)卓越。由于半導(dǎo)體制造過程涉及復(fù)雜設(shè)備系統(tǒng)與高精度工藝，即便是環(huán)境磁場的微小波動，也可能導(dǎo)致數(shù)據(jù)偏差與設(shè)備不穩(wěn)定。SC26采用先進(jìn)的主動消磁技術(shù)，能夠有效抑制環(huán)境中的AC（交流）與DC（直流）磁場，大幅降低對敏感設(shè)備的干擾風(fēng)險，確保關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)可靠性與設(shè)備連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

目前，SC26已廣泛應(yīng)用于多家半導(dǎo)體廠的CD-SEM及Review SEM系統(tǒng)中。實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，安裝SC26后，設(shè)備在測量穩(wěn)定性與圖像質(zhì)量方面均有顯著改善。尤其在關(guān)鍵尺寸檢測及缺陷評估過程中，SC26有效抑制了環(huán)境磁場引發(fā)的數(shù)據(jù)漂移與誤差，大幅提升了檢測的準(zhǔn)確性、重復(fù)性與整體工藝穩(wěn)定性，進(jìn)一步驗(yàn)證了其在高精度電子束設(shè)備保護(hù)中的卓越效能。

在半導(dǎo)體工廠中，SC26的應(yīng)用范圍非常廣泛，尤其在300mm生產(chǎn)線上的電子束（e-beam）檢測設(shè)備中發(fā)揮了關(guān)鍵作用。隨著產(chǎn)線規(guī)模擴(kuò)大與制程節(jié)點(diǎn)微縮，對設(shè)備測量精度與運(yùn)行穩(wěn)定性的要求日益嚴(yán)苛。SC26能夠?qū)崟r監(jiān)測并快速響應(yīng)磁場變化，通過主動補(bǔ)償方式，穩(wěn)定設(shè)備運(yùn)行環(huán)境，從而有效提升測試精度、降低重復(fù)測試頻率，進(jìn)一步提高晶圓生產(chǎn)良率與整體產(chǎn)能。

除了電子束檢測設(shè)備應(yīng)用，SC26在半導(dǎo)體廠內(nèi)9K天車（吊頂式高架單軌運(yùn)輸系統(tǒng)）環(huán)境中同樣表現(xiàn)出色。9K天車在運(yùn)行過程中可能產(chǎn)生強(qiáng)烈的高頻磁場擾動，影響周邊高精度儀器的正常運(yùn)作。SC26能夠有效抑制9K天車所引發(fā)的磁場干擾，確保周邊CD-SEM、Review SEM及其他精密設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行與檢測精度。

SC26具備高度安裝靈活性與環(huán)境適應(yīng)性。其設(shè)計充分考慮了半導(dǎo)體廠房空間布局的復(fù)雜性，支持根據(jù)實(shí)際現(xiàn)場條件進(jìn)行個性化配置。無論是固定式部署還是移動式應(yīng)用，SC26均可迅速適配不同使用場景，確保消磁效果最大化。同時，系統(tǒng)操作界面友好，維護(hù)簡便，用戶無需具備大量專業(yè)知識，即可輕松掌控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)與性能優(yōu)化。

在當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)競爭日益激烈、先進(jìn)制程不斷演進(jìn)的背景下，優(yōu)化生產(chǎn)流程、保障數(shù)據(jù)可靠性成為企業(yè)提升競爭力的核心要求。Spicer Consulting主動式消磁器SC26，以其卓越的消磁性能、靈活的應(yīng)用配置及經(jīng)實(shí)際驗(yàn)證的出色成效，正成為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域不可或缺的重要支撐力量。

如果您對主動消磁器的服務(wù)有任何疑問，請立即與我們聯(lián)系！