文╱勀杰科技團(tuán)隊(duì)

隨著電子束技術(shù)向更高解析、更小尺寸邁進(jìn)，設(shè)備對(duì)安裝環(huán)境的磁場(chǎng)穩(wěn)定性提出了前所未有的要求。無論是在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制程，或是高端量測(cè)應(yīng)用中，磁場(chǎng)干擾尤其是磁場(chǎng)梯度（Magnetic Field Gradient）已成為影響儀器性能的限制因素。

SPICER CONSULTING SC24 主動(dòng)雙消磁系統(tǒng)正是針對(duì)這些環(huán)境挑戰(zhàn)所設(shè)計(jì)，提供一套可實(shí)時(shí)補(bǔ)償、精準(zhǔn)穩(wěn)定的主動(dòng)磁場(chǎng)控制解決方案，有效取代或補(bǔ)強(qiáng)被動(dòng)磁屏蔽，并大幅提升儀器效能與可靠性。

磁場(chǎng)梯度對(duì)電子束儀器的影響

磁場(chǎng)梯度會(huì)導(dǎo)致電子束在空間中發(fā)生非均勻偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而造成：
?成像漂移、失焦與畸變
?曝光成像偏差與誤差
?離子/電子束定位不準(zhǔn)確，影響制程與分析精度

這些問題對(duì)以下設(shè)備尤其嚴(yán)重：
?透射電子顯微鏡（TEM）
?場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）
?電子束光刻/曝光系統(tǒng)（EBL）

SC24雙套主動(dòng)消磁系統(tǒng)的解決方案

SC24采用雙軸補(bǔ)償線圈與多點(diǎn)磁場(chǎng)感測(cè)架構(gòu)，透過高頻率（DC-5000Hz）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與補(bǔ)償，可針對(duì)非均勻磁場(chǎng)與梯度進(jìn)行動(dòng)態(tài)校正。其特點(diǎn)包括：
?雙回路補(bǔ)償架構(gòu)：可在多軸方向補(bǔ)償磁場(chǎng)與其梯度，達(dá)到全空間主動(dòng)抑制效果。
?空間磁場(chǎng)梯度感測(cè)技術(shù)：可準(zhǔn)確捕捉場(chǎng)地中磁場(chǎng)差異，提供區(qū)域性精準(zhǔn)補(bǔ)償。
?數(shù)字控制與回授系統(tǒng)：持續(xù)監(jiān)控并實(shí)時(shí)調(diào)整輸出，確保磁場(chǎng)穩(wěn)定。

主動(dòng)消磁 vs 被動(dòng)屏蔽：專業(yè)比較

項(xiàng)目	主動(dòng)雙消磁系統(tǒng)	被動(dòng)屏蔽
對(duì)時(shí)變磁場(chǎng)干擾的反應(yīng)能力	針對(duì)空間磁場(chǎng)實(shí)時(shí)進(jìn)行補(bǔ)償	無主動(dòng)補(bǔ)償功能
系統(tǒng)彈性與可擴(kuò)充性	可針對(duì)不同儀器、空間進(jìn)行客制化設(shè)計(jì)	固定結(jié)構(gòu)，需結(jié)構(gòu)性施工，不易變更
安裝施工與空間要求	安裝簡(jiǎn)便，無需建筑改造	安裝復(fù)雜，需厚墻體與特殊建材
成本效益	一次性投資，降低場(chǎng)地施工成本，可隨儀器移轉(zhuǎn)重用	材料與施工成本高遷移困難
長(zhǎng)期維護(hù)與管理	可透過軟件進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控與調(diào)校	無法調(diào)整
與高靈敏電子束儀器的兼容性	特別針對(duì) TEM、SEM、FIB、EBL 等設(shè)計(jì)，適用于極高解析應(yīng)用	僅能作為基礎(chǔ)隔離

結(jié)語：磁場(chǎng)梯度，不再是場(chǎng)地限制

Spicer Consulting SC24 主動(dòng)雙消磁系統(tǒng)，已成為當(dāng)今最具技術(shù)領(lǐng)先性且經(jīng)濟(jì)效益高的磁場(chǎng)補(bǔ)償解決方案。無論您面臨的是地鐵直流磁場(chǎng)干擾，或是機(jī)房電氣、設(shè)備產(chǎn)生的交流磁場(chǎng)污染，SC24 都能提供動(dòng)態(tài)、可控且高精度的磁場(chǎng)穩(wěn)定性，確保電子束設(shè)備在最嚴(yán)苛環(huán)境中仍能運(yùn)行無虞。

如果您對(duì)主動(dòng)雙消磁系統(tǒng)服務(wù)有任何疑問，請(qǐng)立即與我們聯(lián)系！