進(jìn)入300mm晶圓廠中不難發(fā)現(xiàn)，當(dāng)晶圓運(yùn)輸天車在運(yùn)作過(guò)程中，將會(huì)產(chǎn)生9 kHz的磁場(chǎng)干擾，嚴(yán)重影響周遭電子束檢測(cè)設(shè)備的性能，成為提升半導(dǎo)體CD節(jié)點(diǎn)技術(shù)的阻礙之一。 『Spicer Consulting SC26型』透過(guò)系統(tǒng)的線圈對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)進(jìn)行負(fù)反饋的磁場(chǎng)來(lái)穩(wěn)定機(jī)臺(tái)運(yùn)行的磁場(chǎng)穩(wěn)定，恢復(fù)電子束檢測(cè)設(shè)備的性能。

Spicer主動(dòng)式消磁器SC26的組成包括一個(gè)控制器，一個(gè)或兩個(gè)200 kHz磁場(chǎng)傳感器和一組三軸線圈，用以優(yōu)化電子束檢測(cè)設(shè)備的性能。另外可使用擴(kuò)充組合接頭，將SC26與SC24的磁場(chǎng)傳感器合并使用，更能大幅解決DC直流電干擾。 Spicer SC26主動(dòng)式消磁器是即時(shí)動(dòng)態(tài)的，針對(duì)外部磁場(chǎng)變化為自動(dòng)回應(yīng)，回應(yīng)時(shí)間小于10微秒。

SC26主動(dòng)式消磁器不能采用像SC24一樣可以將其線圈安裝在機(jī)臺(tái)整個(gè)房間內(nèi)的安裝方式，通常直接安裝在電子束檢測(cè)設(shè)備機(jī)柜內(nèi)部進(jìn)行運(yùn)作。

Spicer SC26 主動(dòng)式消磁器特點(diǎn)：

1. 使300 mm晶圓廠中的電子束檢測(cè)設(shè)備的環(huán)境磁場(chǎng)維持穩(wěn)定狀態(tài)

2. 同時(shí)消除AC交流磁場(chǎng)以及DC直流磁場(chǎng)干擾

3. 適應(yīng)10μs之內(nèi)的磁場(chǎng)幅度和頻率變化

4. 觸控式螢?zāi)唤槊?UI)

5. 針對(duì)外部磁場(chǎng)改變的瞬間反應(yīng)時(shí)間為10微秒以內(nèi)

6. 監(jiān)具有USB連接口提供監(jiān)控

若您有主動(dòng)式消磁器相關(guān)需求想要討論，或想要更進(jìn)一步了解更多相關(guān)知識(shí)！

歡迎來(lái)電/來(lái)信 洽詢

TEL:?166-2156-0396

Email: kechieh@163.com

勀杰科技有限公司-環(huán)境改善部門