環(huán)境干擾會(huì)影響電子束設(shè)備運(yùn)作而導(dǎo)致檢測(cè)結(jié)果精準(zhǔn)度下降，若是置之不理甚至可能影響到整體制程、讓成本大幅上升。因此，不論是實(shí)驗(yàn)室要安裝電子束設(shè)備的場(chǎng)地勘察、厘清以改善干擾源造成的設(shè)備故障、長(zhǎng)期監(jiān)控環(huán)境參數(shù)等等都會(huì)有環(huán)境量測(cè)的需求。?

英國(guó)環(huán)境改善專家Spicer Consulting的智能檢測(cè)儀SC11、SC28挾帶其優(yōu)勢(shì)已成為國(guó)內(nèi)外科技大廠所使用，測(cè)量包含CD-SEM、EBL或是其它半導(dǎo)體設(shè)備的環(huán)境參數(shù)以確保符合規(guī)定。市面上環(huán)境量測(cè)工具五花八門，Spicer的智能檢測(cè)儀成為各家首選的原因在于：

【Spicer檢測(cè)儀】磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)試誤差小

測(cè)量磁場(chǎng)干擾一般包含：磁場(chǎng)強(qiáng)度、磁場(chǎng)方向及磁場(chǎng)變化。常見的磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)試儀器包含：磁強(qiáng)計(jì)、霍爾效應(yīng)傳感器、線圈探頭等。

Spicer系列的智能檢測(cè)儀可X、Y、Z三個(gè)方向同時(shí)量測(cè)，故取得的數(shù)據(jù)較為精準(zhǔn)。相較于一般磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)試儀若僅能一次測(cè)量一個(gè)方向，容易因?yàn)槎虝r(shí)間的磁場(chǎng)變化而產(chǎn)生些微誤差，加上每測(cè)量一個(gè)方向后都需重新歸零，也增加了人為因素導(dǎo)致的數(shù)據(jù)誤差。

此外，Spicer系列的智能檢測(cè)儀偵測(cè)出的數(shù)據(jù)不含地磁，若是在需要確保測(cè)試結(jié)果不受地磁干擾的一些應(yīng)用上，會(huì)比包含地磁數(shù)據(jù)的一些磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)試儀更適合。

【Spicer檢測(cè)儀】振動(dòng)三軸測(cè)量更全面準(zhǔn)確

測(cè)量振動(dòng)干擾包含：振動(dòng)幅度、頻率、速度、加速度及位移。

在振動(dòng)測(cè)量上，Spicer系列的智能檢測(cè)儀同樣具X、Y、Z三軸同時(shí)量測(cè)的優(yōu)勢(shì)，并提供振動(dòng)幅度、頻率、速度、加速度及位移等多個(gè)方向上的振動(dòng)參數(shù)。相較于單軸的振動(dòng)測(cè)量?jī)x，Spicer檢測(cè)儀可取得更為準(zhǔn)確的資訊。

【Spicer檢測(cè)儀】多功能集成的智能軟件-磁場(chǎng)、震動(dòng)、噪聲測(cè)量一并搞定

磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)試儀、振動(dòng)測(cè)量?jī)x、噪聲檢測(cè)儀等設(shè)備分開采購(gòu)令人頭痛，市面上雖有部分設(shè)備商可依需求加裝不同測(cè)量配備，但在軟件上如未整并完全，在數(shù)據(jù)分析上仍有儲(chǔ)多不便。

Spier檢測(cè)儀可測(cè)量磁場(chǎng)、震動(dòng)和噪音(SC28還可多測(cè)量溫度與濕度)，更重要的是，其內(nèi)建智能軟件可整并所有偵測(cè)的環(huán)境干擾源數(shù)據(jù)，當(dāng)下即可看測(cè)量的參數(shù)變化。

Spicer智能檢測(cè)儀量測(cè)服務(wù)方案

我們獨(dú)家代理Spicer Consulting的智能檢測(cè)儀包含SC11、SC28，同時(shí)也提供這些設(shè)備的環(huán)境量測(cè)服務(wù)(長(zhǎng)期/短期)方案，可偵測(cè)磁場(chǎng)、震動(dòng)、噪音、溫度、濕度干擾源。歡迎與我們聯(lián)系

歡迎來電/來信 洽詢

TEL:?16621560396

Email:?kechieh@163.com

勀杰科技有限公司-環(huán)境改善部門