勀杰科技 編著

現(xiàn)代科技多數(shù)設(shè)備都依賴于電子元件和電子系統(tǒng)，因此電磁干擾所造成的影響越來越大。電磁干擾（Electromagnetic Interference,簡稱EMI）是指電磁波與電子設(shè)備之間的相互影響，而導(dǎo)致設(shè)備的性能下降，嚴(yán)重甚至可使設(shè)備損壞或故障，電磁干擾可能影響的范圍像是電子顯微鏡、高精密儀器、通信設(shè)備、汽車、飛機、醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)設(shè)備等。

其中，電子顯微鏡(Electron Microscope, EM) 是現(xiàn)今微米、奈米科技研發(fā)與檢驗的重要工具，例如：掃描式電子顯微鏡（SEM）和穿透式電子顯微鏡（TEM），這些設(shè)備利用高能量的電子束來觀測微結(jié)構(gòu)的表面形貌和物質(zhì)的元素組成，周圍環(huán)境的電磁會造成設(shè)備信號干擾、電子成像的解析度下降、成像失真或扭曲變形、圖像雜訊和量測數(shù)據(jù)不精準(zhǔn)等問題，除了電磁干擾外，環(huán)境中的震動、噪音也會對電子顯微鏡的性能造成影響，如何有效量測并分析環(huán)境具有哪些干擾因子并將干擾程度數(shù)據(jù)化，以幫助研究員選擇對應(yīng)的解決方案，成為了現(xiàn)代科學(xué)中一門重要的課題。

由于可能造成影響的干擾源不只一種，過去為了厘清環(huán)境干擾源及影響程度，必須找來多家不同量測項目的廠商，一一找出或排除可能因子，過程往往繁瑣耗時且費用可觀，來自英國科技大廠Spicer Consulting的SC11環(huán)境量測儀可有效解決上述困擾。

【全面量測AC/DC磁場、震動、噪音】

SC11環(huán)境量測儀一次加載了三種探測器：磁場、震動、噪音量測，使其能夠有效地綜合評估精密儀器周圍的環(huán)境干擾源強度與頻率，并提供詳盡的數(shù)據(jù)報告，其中磁場更可量測AC交流磁場與DC直流磁場的方向與相對位置，使用者可迅速根據(jù)量測分析的結(jié)果，采取對應(yīng)的策略以解決環(huán)境干擾與電磁干擾問題。

SC11環(huán)境量測儀可測量從DC到13 kHz的電磁場強度，AC的磁場量測范圍更可達20 kHz，震動幅度從最小的0.1到最大500 Hz，并采用精密麥克風(fēng)探測器，聲音分貝可支援20 dB到110 dB，甚至可量測半導(dǎo)體潔凈室中頂部晶圓傳送器所產(chǎn)生的9 kHz磁場等，可符合SEM、TEM、9kHz晶片傳送天車等各式精密儀器之環(huán)境量測需求。

SC11環(huán)境量測儀可應(yīng)用之產(chǎn)業(yè)和設(shè)備非常廣泛，特別是需要進行EMI測量和分析的行業(yè)，像是電子產(chǎn)品、電路板、半導(dǎo)體、醫(yī)療、交通、能源、通訊等產(chǎn)業(yè)，以及需要高精密測量的科學(xué)研究機構(gòu)和實驗室。

【勀杰科技提供多元的解決方案】

透過SC11查找出環(huán)境干擾因子，勀杰科技也有提供一系列對應(yīng)的解決方案，以最大化電子顯微鏡與高精密儀器的效能及穩(wěn)定性，如：

• Spicer Consulting主動式消磁器SC22、SC24、SC26，可建立屏蔽磁場的實驗室環(huán)境。
• Herz主動式防震臺，主動檢測輸入震動幅度并動態(tài)消除。
• Herzan電子顯微鏡防噪音箱，使用多層隔音材料，加上模組化、拼接式設(shè)計，有效阻隔噪音又方便使用。

【一站式服務(wù)，從量測、分析到解決方案】

整體而言，電子顯微鏡等高精密儀器作為關(guān)鍵的科學(xué)研究設(shè)備，環(huán)境干擾和電磁干擾所造成的影響不容小覷。為了確保這些高精密儀器能正常運作并維持高解析度、高靈敏度，需要對其周圍的環(huán)境進行嚴(yán)謹(jǐn)?shù)母蓴_測量和分析，這就需要專業(yè)的工具和技術(shù)。

Spicer Consulting 的 SC11環(huán)境量測儀提供最全面的專業(yè)量測分析工具，并被世界領(lǐng)先的電子顯微鏡制造商及首屈一指的半導(dǎo)體制造商所使用。加上勀杰科技提供一站式服務(wù)，從場地量測探勘到改善方案一應(yīng)俱全，從臺灣出發(fā)跨國至中國、東南亞地區(qū)并擁有豐富的電鏡影像經(jīng)驗從而協(xié)助客戶找出設(shè)備周圍的干擾源，并對癥下藥提供相對應(yīng)的解決方案，從而確保設(shè)備產(chǎn)出結(jié)果之準(zhǔn)確性，提高生產(chǎn)效率，降低故障率，加速科技研究進程，并為人類高科技文明發(fā)展盡一份心力。

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