文╱勀杰科技團隊

隨著半導(dǎo)體制程邁向奈米級精密度，電子顯微鏡等高分辨率儀器的成像質(zhì)量與環(huán)境穩(wěn)定性需求大幅提升。SPICER CONSULTING推出的 SC24 Plus主動消磁器雙機強化版，不僅突破傳統(tǒng)消磁技術(shù)的瓶頸，更整合多重環(huán)境監(jiān)控與智能警示系統(tǒng)，成為電子束儀器領(lǐng)域的關(guān)鍵解決方案。以下從其核心功能、監(jiān)控能力及應(yīng)用效益三方面進行深入探討。

主動消磁技術(shù)：提升電子束成像精度的關(guān)鍵

電子束儀器（如SEM、FIB、TEM、EBL、CD-SEM）的分辨率極易受環(huán)境磁場干擾（EMI）影響，AC交流磁場會導(dǎo)致圖像邊緣毛刺，而DC直流磁場則可能引發(fā)波浪狀線條失真。SC24 Plus 透過以下技術(shù)實現(xiàn)動態(tài)消磁：

雙頻段覆蓋：可消除DC-5000 Hz的直流磁場及AC交流磁場，覆蓋常見干擾源如電梯、地鐵、電線或周遭設(shè)備。

超高速反應(yīng)：動態(tài)響應(yīng)時間小于100微秒，實時產(chǎn)生反向磁場抵消外部變化，確保電子束軌跡穩(wěn)定。 此技術(shù)顯著降低影像失真，使電子顯微鏡能維持最高分辨率，尤其在半導(dǎo)體QC檢測中，可提高電子束儀器成像的質(zhì)量及效率

全方位環(huán)境監(jiān)控：長期穩(wěn)定性的守護者

SC24 Plus不僅止于消磁，更整合5種環(huán)境參數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)（磁場、震動、噪音、溫度、濕度），實現(xiàn)全周期數(shù)據(jù)追蹤與預(yù)警：

多源頭同步監(jiān)測：透過搭配不同種類傳感器，系統(tǒng)可同時顯示多種報表數(shù)據(jù)，例如震動頻譜、溫濕度趨勢等，協(xié)助用戶掌握環(huán)境變化。

24小時不間斷紀錄：長期數(shù)據(jù)累積有助于分析干擾源周期性，例如辨識廠房設(shè)備運轉(zhuǎn)或交通尖峰時段的磁場波動，進而制定改善策略。

遠程實時管理：支持乙太網(wǎng)絡(luò)連接，工程師可遠程查閱監(jiān)控數(shù)據(jù)，無需親赴現(xiàn)場即可診斷問題，大幅縮短故障排除時間。

此功能尤其適用于需嚴格控制環(huán)境的無塵室或精密實驗室，確保電子束儀器在最佳條件下運作。

智能警示與快速應(yīng)變：降低停機風(fēng)險

SC24 Plus 的智能警報系統(tǒng)結(jié)合硬件與軟件設(shè)計，實現(xiàn)實時預(yù)警與快速應(yīng)對：

可視化警示燈：當(dāng)任一監(jiān)測參數(shù)超出預(yù)設(shè)范圍（如磁場突變或震動超標(biāo)），系統(tǒng)會立即將狀態(tài)燈由綠轉(zhuǎn)紅，操作人員可迅速定位問題。

自定環(huán)境規(guī)范：用戶可根據(jù)不同儀器環(huán)境要求設(shè)定觸發(fā)條件，例如設(shè)定TEM的震動要求高于SEM，以匹配其高精度需求。

歷史資料回朔：若發(fā)生成像異常，可調(diào)用警報前后的環(huán)境數(shù)據(jù)，快速厘清是否為外部干擾或設(shè)備故障，避免無謂的停機檢修，此機制有效減少因環(huán)境波動導(dǎo)致的非計劃性停機。

結(jié)論

SPICER CONSULTING SC24 Plus 透過「動態(tài)消磁」與「智能監(jiān)控」的雙重創(chuàng)新，重新定義了電子束儀器的環(huán)境控制標(biāo)準。其整合性設(shè)計不僅解決傳統(tǒng)EMI問題，更以數(shù)據(jù)驅(qū)動的警報系統(tǒng)優(yōu)化電子束儀器操作穩(wěn)定，成為高階精密制造與科研領(lǐng)域不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。未來，隨著工業(yè)4.0對實時數(shù)據(jù)的需求增長，SC24 Plus 的遠程監(jiān)控與分析功能將進一步推動智能化實驗室的發(fā)展。

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