文╱勀杰科技團(tuán)隊(duì)

一款創(chuàng)新監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（SC28 監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，Spicer Consulting）已經(jīng)上市，該系統(tǒng)可連續(xù)記錄三軸磁場(chǎng)和地面振動(dòng)，以及聲級(jí)、溫度和濕度。此系統(tǒng)可透過(guò)連接到相同局域網(wǎng)絡(luò)的計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制，所有收集到的信息均由軟件自動(dòng)儲(chǔ)存在帶有日期戳記的檔案中。此程序也可用于定義環(huán)境參數(shù)，例如最小值/最大值，或最大振幅與頻率的頻譜。軟件會(huì)不斷將每個(gè)參數(shù)的測(cè)量值與使用者定義的參數(shù)進(jìn)行比較，并將實(shí)時(shí)結(jié)果顯示在一個(gè)小窗口中。

SC28可設(shè)定為在任何參數(shù)超出允許范圍時(shí)向用戶發(fā)送電子郵件。此操作可以一次執(zhí)行，也可以按指定頻率執(zhí)行，以確保及時(shí)處理問(wèn)題。此外，還可以使用交通號(hào)志發(fā)出視覺(jué)警告，這在半導(dǎo)體生產(chǎn)等制造環(huán)境中非常有用。

此程序支持六種尺度和三種不同格式—示波器、頻譜和圖表—最多可同時(shí)顯示 14張圖表（見(jiàn)圖1）。專用工具SCplot還允許使用者處理大型數(shù)據(jù)集，并以可視化的方式呈現(xiàn)長(zhǎng)期環(huán)境參數(shù)的變化。例如，圖2顯示了從335個(gè)檔案（每個(gè)檔案近70 MB）中提取的一周磁場(chǎng)數(shù)據(jù)，每個(gè)檔案包含30分鐘的記錄，以每秒一個(gè)點(diǎn)的速度記錄 3軸磁場(chǎng)、3軸振動(dòng)、聲學(xué)、溫度和濕度。這些圖可以儲(chǔ)存為圖像或附加到文本文件以簡(jiǎn)化報(bào)告。此外，SCplot支持宏腳本，允許用戶保存命令序列并在稍后重新運(yùn)行。

EM 制造商和用戶共享的解決方案

電鏡工具通常用于依賴精確高質(zhì)量影像的應(yīng)用，例如高級(jí)研究或半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的檢測(cè)和質(zhì)量控制，因此保護(hù)它們免受環(huán)境干擾至關(guān)重要。遺憾的是，電磁系統(tǒng)的用戶通常無(wú)法立即識(shí)別外部干擾，并且可能需要一些時(shí)間才能確定影像失真的根本原因，從而延誤研究或制造活動(dòng)。

SC28監(jiān)控系統(tǒng)可為這些工具提供全天候 (24/7) 環(huán)境監(jiān)控，并協(xié)助快速診斷由外部干擾引起的問(wèn)題。它還可以用作警報(bào)系統(tǒng)，持續(xù)將測(cè)得的環(huán)境讀數(shù)與顯微鏡規(guī)格或用戶設(shè)定的數(shù)值進(jìn)行比較，允許本地可見(jiàn)警告，并在參數(shù)超出規(guī)格時(shí)發(fā)送錯(cuò)誤報(bào)告。這讓電磁操作員對(duì)其儀器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性完全放心。?

SC28不僅對(duì)電鏡操作員有用，電鏡制造商還可以使用它來(lái)收集儀器數(shù)據(jù)并將其上傳到云端，以便服務(wù)工程師在電鏡影像分辨率出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)進(jìn)行遠(yuǎn)程分析。這可以幫助工程師快速確定問(wèn)題是與環(huán)境還是儀器本身有關(guān)，從而確保盡快發(fā)現(xiàn)并解決問(wèn)題。電鏡制造商還可以使用SC28在儀器組裝過(guò)程中監(jiān)控環(huán)境條件，以幫助診斷和解決意外外部干擾造成的問(wèn)題。

結(jié)論

質(zhì)量控制活動(dòng)依賴重要的性能數(shù)據(jù)，而持續(xù)環(huán)境監(jiān)測(cè)解決方案的引入將帶來(lái)重大變革，有助于確保電子顯微鏡和光刻系統(tǒng)的運(yùn)作標(biāo)準(zhǔn)。SC28 可連續(xù)監(jiān)測(cè)振動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波、溫度和濕度，無(wú)需使用者干預(yù)，有助于識(shí)別外部干擾（無(wú)論是持續(xù)、間歇或瞬態(tài)干擾）導(dǎo)致的潛在分辨率問(wèn)題，并幫助用戶更好地控制其制程和環(huán)境。

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