文╱勀杰科技團(tuán)隊(duì)

隨著電子束技術(shù)向更高解析、更小尺寸邁進(jìn)，設(shè)備對安裝環(huán)境的磁場穩(wěn)定性提出了前所未有的要求。無論是在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制程，或是高端量測應(yīng)用中，磁場干擾尤其是磁場梯度（Magnetic Field Gradient）已成為影響儀器性能的限制因素。

SPICER CONSULTING SC24 主動雙消磁系統(tǒng)正是針對這些環(huán)境挑戰(zhàn)所設(shè)計(jì)，提供一套可實(shí)時(shí)補(bǔ)償、精準(zhǔn)穩(wěn)定的主動磁場控制解決方案，有效取代或補(bǔ)強(qiáng)被動磁屏蔽，并大幅提升儀器效能與可靠性。

磁場梯度對電子束儀器的影響

磁場梯度會導(dǎo)致電子束在空間中發(fā)生非均勻偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而造成：
?成像漂移、失焦與畸變
?曝光成像偏差與誤差
?離子/電子束定位不準(zhǔn)確，影響制程與分析精度

這些問題對以下設(shè)備尤其嚴(yán)重：
?透射電子顯微鏡（TEM）
?場發(fā)射掃描電子顯微鏡/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）
?電子束光刻/曝光系統(tǒng)（EBL）

SC24雙套主動消磁系統(tǒng)的解決方案

SC24采用雙軸補(bǔ)償線圈與多點(diǎn)磁場感測架構(gòu)，透過高頻率（DC-5000Hz）實(shí)時(shí)監(jiān)測與補(bǔ)償，可針對非均勻磁場與梯度進(jìn)行動態(tài)校正。其特點(diǎn)包括：
?雙回路補(bǔ)償架構(gòu)：可在多軸方向補(bǔ)償磁場與其梯度，達(dá)到全空間主動抑制效果。
?空間磁場梯度感測技術(shù)：可準(zhǔn)確捕捉場地中磁場差異，提供區(qū)域性精準(zhǔn)補(bǔ)償。
?數(shù)字控制與回授系統(tǒng)：持續(xù)監(jiān)控并實(shí)時(shí)調(diào)整輸出，確保磁場穩(wěn)定。

主動消磁 vs 被動屏蔽：專業(yè)比較

項(xiàng)目	主動雙消磁系統(tǒng)	被動屏蔽
對時(shí)變磁場干擾的反應(yīng)能力	針對空間磁場實(shí)時(shí)進(jìn)行補(bǔ)償	無主動補(bǔ)償功能
系統(tǒng)彈性與可擴(kuò)充性	可針對不同儀器、空間進(jìn)行客制化設(shè)計(jì)	固定結(jié)構(gòu)，需結(jié)構(gòu)性施工，不易變更
安裝施工與空間要求	安裝簡便，無需建筑改造	安裝復(fù)雜，需厚墻體與特殊建材
成本效益	一次性投資，降低場地施工成本，可隨儀器移轉(zhuǎn)重用	材料與施工成本高遷移困難
長期維護(hù)與管理	可透過軟件進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控與調(diào)校	無法調(diào)整
與高靈敏電子束儀器的兼容性	特別針對 TEM、SEM、FIB、EBL 等設(shè)計(jì)，適用于極高解析應(yīng)用	僅能作為基礎(chǔ)隔離

結(jié)語：磁場梯度，不再是場地限制

Spicer Consulting SC24 主動雙消磁系統(tǒng)，已成為當(dāng)今最具技術(shù)領(lǐng)先性且經(jīng)濟(jì)效益高的磁場補(bǔ)償解決方案。無論您面臨的是地鐵直流磁場干擾，或是機(jī)房電氣、設(shè)備產(chǎn)生的交流磁場污染，SC24 都能提供動態(tài)、可控且高精度的磁場穩(wěn)定性，確保電子束設(shè)備在最嚴(yán)苛環(huán)境中仍能運(yùn)行無虞。

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