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應(yīng)用專(zhuān)欄?
突破電子顯微鏡成像瓶頸—新SC24 Plus全面監(jiān)控多種環(huán)境干擾、消除EMI問(wèn)題
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，電子顯微鏡是品質(zhì)控管(Quality Control，簡(jiǎn)稱(chēng)QC)的重要工具，工程師們透過(guò)電子顯微鏡對(duì)晶片做微觀結(jié)構(gòu)分析，找出可能存在的問(wèn)題與缺陷，以?xún)?yōu)化產(chǎn)品制程。隨著微電子元件、微控制器的「微」時(shí)代來(lái)臨，半導(dǎo)體制程需要更高倍率、更高解析的成像品質(zhì)。然而，來(lái)自于外部環(huán)境的眾多干擾，讓高解析度成為一項(xiàng)挑戰(zhàn)。
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最全面的半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)設(shè)備消磁選擇：Spicer Consulting電磁干擾解決方案
您也有電磁干擾問(wèn)題需要解決嗎？眾多消磁器中不知哪一款最適合？ Spicer Consulting提供一系列主動(dòng)式消磁器選擇指引，依不同產(chǎn)業(yè)應(yīng)用層面及場(chǎng)地客制化解決磁場(chǎng)干擾問(wèn)題。
式消磁器與被動(dòng)式消磁機(jī).jpg "應(yīng)用專(zhuān)欄插圖2")
認(rèn)識(shí)「主動(dòng)式消磁器」與「被動(dòng)式消磁機(jī)」
高性能電子束的設(shè)備對(duì)磁場(chǎng)變化非常敏感，當(dāng)環(huán)境磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，會(huì)造成電子顯微鏡中的電子束偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)的分辨率和測(cè)量精準(zhǔn)度下降。這時(shí)候消磁…
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Spicer SC26 主動(dòng)式消磁器 改善300mm線上電子束檢測(cè)設(shè)備磁場(chǎng)干擾問(wèn)題
進(jìn)入300mm晶圓廠中不難發(fā)現(xiàn)，當(dāng)晶圓運(yùn)輸天車(chē)在運(yùn)作過(guò)程中，將會(huì)產(chǎn)生9 kHz的磁場(chǎng)干擾，嚴(yán)重影響周遭電子束檢測(cè)設(shè)備的性能，成為提升半導(dǎo)體CD節(jié)點(diǎn)技術(shù)的阻礙之一…
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Spicer SC24 主動(dòng)式消磁器 大幅降低實(shí)驗(yàn)室AC、DC磁場(chǎng)干擾問(wèn)題
Spicer Consulting SC24 主動(dòng)式消磁器能同時(shí)減少AC交流電和DC直流電的磁場(chǎng)干擾，，包含來(lái)自電梯、火車(chē)、交通工具和其他機(jī)臺(tái)干擾，使電子顯微鏡恢復(fù)最高品質(zhì)的成像結(jié)果。針對(duì)外部磁場(chǎng)變化為自動(dòng)回應(yīng)…
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Spicer SC22 主動(dòng)式消磁器 有效消除實(shí)驗(yàn)室AC磁場(chǎng)干擾問(wèn)題
Spicer Consulting SC22 主動(dòng)式消磁器減少了環(huán)境周?chē)腁C交流電磁場(chǎng)干擾，使機(jī)臺(tái)恢復(fù)最高品質(zhì)的成像結(jié)果。針對(duì)外部磁場(chǎng)變化為自動(dòng)回應(yīng)，回應(yīng)時(shí)間小于100微秒，在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz AC交流電場(chǎng)干擾…