應(yīng)用專(zhuān)欄?
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主動(dòng)隔振臺(tái)與被動(dòng)隔振臺(tái)有何差異
隔振臺(tái)廣泛應(yīng)用于電子顯微鏡、半導(dǎo)體以及顯示器制造等各類(lèi)產(chǎn)業(yè)。為了減少環(huán)境振動(dòng)對(duì)設(shè)備性能的影響,了解主動(dòng)隔振臺(tái)與被動(dòng)隔振臺(tái)的差異至關(guān)重要。被動(dòng)隔振臺(tái)利用彈簧和阻尼器的自然特性來(lái)減少振動(dòng);而主動(dòng)隔振臺(tái)則使用帶有集成傳感器和執(zhí)行器的控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對(duì)低頻振動(dòng)更為有效的控制。
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直流磁場(chǎng)干擾對(duì)電子顯微鏡和電子束光刻設(shè)備的影響
在電子顯微鏡或電子束光刻設(shè)備附近,直流磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化可能降低影像品質(zhì)(如:導(dǎo)致影像失真、模糊或漂移)并影響生產(chǎn)效率。直流磁場(chǎng)變化的常見(jiàn)來(lái)源包括電梯、火車(chē)、卡車(chē)和金屬門(mén)。針對(duì)這些直流磁場(chǎng)干擾問(wèn)題的解決方法,通常依據(jù)每個(gè)實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)和設(shè)備配置的不同而有所調(diào)整。

Spicer主動(dòng)消磁設(shè)備,高端電子顯微鏡磁場(chǎng)干擾的完美解決方案
隨著電子顯微鏡和高精度設(shè)備在科研與工業(yè)中的廣泛應(yīng)用,電磁干擾對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的影響日益顯現(xiàn)。尤其是在電子顯微鏡成像中,外界環(huán)境的電磁場(chǎng)波動(dòng)可能導(dǎo)致圖像模糊、變形甚至出現(xiàn)誤差,直接影響科研工作的質(zhì)量和效率。

主動(dòng)式消磁系統(tǒng),為電子顯微鏡提供穩(wěn)定的成像體驗(yàn)
在高端電子顯微鏡的應(yīng)用中,磁場(chǎng)干擾一直是影響成像質(zhì)量和設(shè)備性能的核心難題。尤其是在磁場(chǎng)強(qiáng)度高或環(huán)境磁場(chǎng)梯度大的實(shí)驗(yàn)室中,磁場(chǎng)波動(dòng)會(huì)直接導(dǎo)致成像失真,甚至對(duì)設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生嚴(yán)重影響。
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磁場(chǎng)干擾EMI:瞭解并減輕交流和直流磁場(chǎng)
直流(DC)和交流(AC)磁場(chǎng)會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)干擾,從而降低電子顯微鏡和電子束微影設(shè)備的性能,可以同時(shí)處理直流和交流的主動(dòng)消磁系統(tǒng)是最簡(jiǎn)單且具成本效益的解決方案。本篇將將說(shuō)明什么是直流磁場(chǎng)和交流磁場(chǎng),以及磁場(chǎng)干擾如何影響各實(shí)驗(yàn)室的設(shè)備。
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磁場(chǎng)測(cè)試、震動(dòng)測(cè)量、噪聲檢測(cè)等儀器如何選?科技大廠選擇Spicer智能檢測(cè)儀的原因
智能檢測(cè)儀SC11、SC28挾帶其優(yōu)勢(shì)已成為國(guó)內(nèi)外科技大廠所使用,用于測(cè)量包含CD-SEM、EBL或其它半導(dǎo)體設(shè)備的環(huán)境參數(shù)以確保符合規(guī)定。多功能整合的智能軟體滿(mǎn)足:磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)試、震動(dòng)三軸測(cè)量、聲音分貝檢測(cè),當(dāng)下即可看測(cè)量的參數(shù)變化。